潔凈室最主要之作用在于控制產(chǎn)品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度，使產(chǎn)品能在一個良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造，此空間我們稱之為潔凈室。
按照國際慣例，無塵凈化級別主要是根據(jù)每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標準的粒子數(shù)量來規(guī)定。也就是說所謂無塵并非100%沒有一點灰塵，而是控制在一個非常微量的單位上。
當然這個標準中符合灰塵標準的顆粒相對于我們常見的灰塵已經(jīng)是小的微乎其微，但是對于光學構(gòu)造而言，哪怕是一點點的灰塵都會產(chǎn)生非常大的負面影響，所以在光學構(gòu)造產(chǎn)品的生產(chǎn)上，無塵是必然的要求。
每立方米將小于0.3微米粒徑的微塵數(shù)量控制在3500個以下，就達到了國際無塵標準的A級。目前應用在芯片級生產(chǎn)加工的無塵標準對于灰塵的要求高于A級，這樣的高標主要被應用在一些等級較高芯片生產(chǎn)上。0.5uM及以下的微塵數(shù)量被嚴格控制在每立方米1000個以內(nèi)，這也就是業(yè)內(nèi)俗稱的1K級別。
疾控中心實驗室要按照功能用途劃區(qū)布置，將實驗室與各區(qū)嚴格分開，人流、物流路徑分明，有污染排放的區(qū)域要設在實驗室的下風向，吸風口設在上風向，實驗室周圍不宜種植飛揚花粉、絨毛和落葉的植物。
(1)人流
初更室—氣閘更衣室—淋浴更衣室—緩沖室—進入實驗區(qū)。
離開時進入凈身室(房間負壓)，脫下身上所有的衣物，衣物放入雙門藥液浸泡柜(或其他方式消毒柜)內(nèi)(雙門藥液浸泡柜的門設計成控制式的，不允許同時打開);然后進入淋浴室淋浴;淋浴后進入記錄室，登記記錄自己的工作和身體污染情況，然后拿著身體狀況表進入體檢室，作污染和常規(guī)檢查或住室觀察，無問題進入氣閘更衣室換上自己的衣服下班。
(2)物流
物流：設計成單向性的，從專門的庫房(或暫存間)進入緩沖間，再進入實驗室。離開時必須通過雙門熱壓滅菌鍋進入另一個緩沖間(雙門熱壓滅菌柜的門設計成控制式的，不允許同時打開)。任何物料只要進入是實驗區(qū)，不能原路返回。#p#分頁標題#e#
(3)三廢處理
a.廢液：廢液處理的方法是根據(jù)廢液的性質(zhì)確定的處理方法的。一般采取的方法有：化學處理方法、物理處理方法、生物處理方法。
b.廢氣：廢氣處理可采用的方法有：加熱滅菌方法、高效過濾器方法、混合滅菌方法、火焰滅菌方法等。
c.固體廢料：固體廢料的處理方法有：蒸汽滅菌方法、氣體熏蒸方法、液體浸泡方法、輻射滅菌方法、焚燒處理方法等。
此文章由網(wǎng)站本公司編寫，轉(zhuǎn)載請注明出處。http://www.weo.xin
