萬(wàn)級(jí)凈化車間標(biāo)準(zhǔn)(按塵粒數(shù)目和微生物數(shù)目來(lái)定義的): 塵粒最大允許數(shù)(每立方米): 大或等于0.5微米的粒子數(shù)不得超過(guò)350000個(gè),大或等于5微米的粒子數(shù)不得超過(guò)2000個(gè); 微生物最大允許數(shù): 浮游菌數(shù)不得超過(guò)100個(gè)每立方米:, 沉降菌數(shù)不得超過(guò)3個(gè)每培養(yǎng)皿. 

10萬(wàn)級(jí)潔凈車間標(biāo)準(zhǔn)(按塵粒數(shù)目和微生物數(shù)目來(lái)定義的): 塵粒最大允許數(shù)(每立方米): 大或等于0.5微米的粒子數(shù)不得超過(guò)3500000個(gè),大或等于5微米的粒子數(shù)不得超過(guò)20000個(gè); 微生物最大允許數(shù): 浮游菌數(shù)不得超過(guò)500個(gè)每立方米:, 沉降菌數(shù)不得超過(guò)10個(gè)每培養(yǎng)皿.    
30萬(wàn)級(jí)潔凈車間標(biāo)準(zhǔn)(按塵粒數(shù)目和微生物數(shù)目來(lái)定義的): 塵粒最大允許數(shù)(每立方米): 大或等于0.5微米的粒子數(shù)不得超過(guò)10500000個(gè),大或等于5微米的粒子數(shù)不得超過(guò)60000個(gè); 微生物最大允許數(shù): 浮游菌數(shù)不得超過(guò)1000個(gè)每立方米:, 沉降菌數(shù)不得超過(guò)15個(gè)每培養(yǎng)皿.

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